臭氧是氧的同素異形體，有三個氧原子組成，它是一種強氧化劑，其氧化還原電位稍低于氟。臭氧在一定的濃度值條件下會與細菌、病毒等微生物菌種發生生物化學氧化反應，從而破壞細菌，病毒體內的細胞器或核糖核酸，進一步影響到細菌病毒的物質代謝生長和繁殖能力，這樣就能達到消毒滅菌的效果了。另外，臭氧在氧化滅菌過程中，多出的氧原子會在半小時后相結合成氧分子，不會有任何的有毒有害殘余物，解決了二次污染問題，可以說，凈化車間利用臭氧進行消毒殺菌是非常正確的選擇，同時還省去了消毒滅菌之后的再次清潔。

    另外，按照國家衛生部《消毒技術規范》及QS、GMP、HACCP等認證的規定要求，在利用臭氧對凈化車間（潔凈度等級30萬級以下）進行消毒殺菌時，凈化車間內的臭氧濃度應當高于或超過10毫克/m3的濃度值標準。如果是對凈化車間內的物品和設備進行消毒殺菌，臭氧的濃度值應適量增加。如果是對潔凈度等級較高的車間，如十萬級、萬級的車間進行消毒殺菌時，臭氧濃度則應增加到20-30毫克/m3。

    臭氧現在已經廣泛應用于食品、制藥、化妝品等行業的凈化車間，但是在利用臭氧對凈化車間進行消毒殺菌時，應注意濃度值，濃度太高了不行，濃度低了又起不到效果。另外，利用臭氧進行消毒殺菌時，凈化車間溫度應低于40℃而濕度要高于70%，室內環境下進行消毒殺菌能起到的效果是最佳效果。